氮气主要用作保护气体、吹扫气体、载气、干燥气体等。在金属热处理工艺过程中氮气作为保护气体，目的是为提高金属材料、零件的质量、光洁度等。在电子工业中修文稀有气体高纯氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。在石化行业中氮气作为保护气、载气，目的是确保石化生产的顺利、安全运行，氮气也是合成氨生产的主要原料气。在建材工业的浮法玻璃生产中，氮气作为锡槽的主要保护气，以实现浮法生产工艺和提高玻璃质量。此外，可以利用氧作氧化剂进行磁流体发电；利用氧气净化污水，利用稀有气体氧气在采矿业中进行深井作业；利用氧气进行深海打捞，潜水作业；利用氧气抢救窒息病人，临危病人；利用氧气保健，如高原登山运动员、地质人员、边疆巡逻战士等特殊人群使用和一般人员泡氧吧等。

低温冷凝法先让含稀有气体氦气源中的硫化氢、二氧化碳、水分，甚至汞等杂质在进入低温装置前须净化处理。然后将天然气经二次冷凝后制得氦含量为60%左右的粗氦。天然气中较难液化的氢随着氦气的提浓被浓缩在粗氦中，需要在精制前将其除去。冷源一般由常压液氮提供，可制得纯度99.99% 以上的氦气。吸附法是根据天然气中甲烷、乙烷、氦气、氮气、氧气等各组分在固体吸附剂表面上吸附能力的差异而将其中的氦分离出来。限于吸附剂的吸附容量，修文稀有气体吸附法一般适用于杂质含量小于10%的粗氦精制中。近年来发展起来的变压吸附（PSA）即属于此类改进型。吸收法是用吸收溶剂将沸点比氦气高的天然气中的其余组分洗涤吸收除去而提取氦气。扩散法利用氦气所具有的高的热扩散性能，用毛细管可将天然气中的氦气浓缩提取出来。

三氯氢硅装卸期间火灾危险性较大。由于修文稀有气体三氯氢硅蒸气与空气会形成可燃混合物，烧爆炸，遇水或受潮会发生剧烈反应并生产有毒的HCL，且三氯氢硅自身具有较强毒性，因而对三氯氢硅运输应有特殊的要求。运输的一般要求：只允许有资格、有经验并经过全面培训的员工才能给储罐及槽车取样、连接、装载、卸载或断开。稀有气体在取样、连接、装载、卸载或断开操作中，应穿着防护服，在装载或卸载区域8-15m的范围内，应设置紧急淋浴装置和洗眼喷泉，连接并准备好紧急情况下使用的消洗软管，在操作前应测试相关的设施是否完好。

用户在购买气瓶后，修文稀有气体应对气瓶的漆色、检验日期、外观、各种标贴及其安全装置进行检查，确认盛装气体正确无误，气瓶安全状况良好后方可使用。气瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。使用前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。烧焊时，应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备，如软管、电缆及焊枪等。稀有气体不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、一氧化碳等）进行实验率分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。在可能造成回流的使用场合，使用设备上必须配备防止倒灌的装置，如单向阀、止回阀、阻火器等。