高纯气体一般用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。气体高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用超高纯氮气置换，再用超高纯氮气置换。对于高纯气体，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体贮存和运输过程中的洁净和高度密封性特别重要。修文气体高纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和运输。高压钢瓶坚实耐用，运输和使用灵活，气体无损耗，但气体纯度稳定性较差；低温液化气体容器单位容积贮量很大，但有气体排放损耗。

在几乎所有现代光源中都要用到氦族气体，气体氖气主要用于填充各种荧光灯、发光信号装置和辉光灯等。液氖还广泛用于低温辐射检测器，以及用于空间探索计划中其他专门仪表。工业气体氖与氩、氦和汞蒸气混合可用于充填磷光管。氖与氩混合可用来充填闸流射电管。激光技术广泛应用工业气体氦族气体，氖-氦连续激光器广泛应用于功率仅为零点几瓦的光学应用中。对于低压放电管，在清洁的玻璃管内，纯氖产生橙色的光，氖与氩、氦按不同比例混合，充入各种滤光玻璃管，可制成绚丽多彩的霓虹灯（字模显示灯）。修文气体氖气低压放电管广泛用做指示灯。由于氖光灯发出的红光透射能力强，长期以不氖都被用不来填充各种信号装置，作为港口、机场、车站等水陆交通要地的显示标志。

在炼钢过程中吹以气体高纯度氧气，氧便和碳及磷、硫、硅等起氧化反应，这不但降低了钢的含碳量，还有利于清除磷、硫、硅等杂质。产生的热量足以维持炼钢过程所需的温度，缩短了冶炼时间，同时提高了钢的质量。高炉炼铁时，提高鼓风中的氧浓度可以降焦比，提高产量。重金属冶炼中，火法冶炼占主要地位，除靠硫和铁氧化放热外，还需靠燃料燃烧提供热量。为了强化冶炼过程，降低能耗，减少有害烟气量，采用富氧代替空气进行熔炼，同时可提高设备的生产能力。 在生产合成氨时，修文气体氧气主要用于原料气的氧化。例如，重油的高温裂化，以及煤粉的气化等，以强化工艺过程，提高化肥产量。

氯气能杀菌，用于净化水质。还被用来处理某些工业废水，如对硫化氢、氰化物等进行氧化，消除其毒性。修文气体氯气可生产多种多样化工产品，用于制造塑料、农药、合成纤维、合成橡胶等，也用于生产氯化物、盐酸及含氯溶剂等。氯气还可用于生产最终不含氯的化工产品，如丙三醇(甘油)、乙二醇等。气体乙炔气是有机合成的重要原料之一，也是三大合成材料(橡胶、塑料、纤维)的单体之一。在医药工业方面用于制造避孕药剂。在原子吸收分析仪上用作载气。溶解乙炔的重要用途是金属焊接与切割、喷镀、表面淬火和热加工等。此外，乙炔气最早的应用是用来照明，主要的使用场合为航标灯。