氮气主要用作保护气体、吹扫气体、载气、干燥气体等。在金属热处理工艺过程中氮气作为保护气体，目的是为提高金属材料、零件的质量、光洁度等。在电子工业中盘州氦气高纯氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。在石化行业中氮气作为保护气、载气，目的是确保石化生产的顺利、安全运行，氮气也是合成氨生产的主要原料气。在建材工业的浮法玻璃生产中，氮气作为锡槽的主要保护气，以实现浮法生产工艺和提高玻璃质量。此外，可以利用氧作氧化剂进行磁流体发电；利用氧气净化污水，利用氦气氧气在采矿业中进行深井作业；利用氧气进行深海打捞，潜水作业；利用氧气抢救窒息病人，临危病人；利用氧气保健，如高原登山运动员、地质人员、边疆巡逻战士等特殊人群使用和一般人员泡氧吧等。

氢气在国民经济的各行各业用作保护气、反应气、载气、燃烧气等。在石化工业生产中，应用不同组份的含氦气氢气体作为合成氨、甲醇、石油炼制生产的原料气、加氢气体等；有机物氢化反应原料气。在冶金工业中，氢气作为还原气、保护气广泛用于钨、钼、钛的生产与加工；薄钢板、带钢条、硅钢片的生产与轧制；精密合金、粉末冶金材料的生产。在电子工业中，广泛使用盘州氦气高纯氢气，主要用于电子材料、半导体集成电路以及电真空主器件的生产。在建材和轻工生产中，常应用氢气作为保护气、燃烧气，如石英玻璃、人造宝石生产使用氢一氧焰获得高温；在浮法玻璃生产使用氢气为保护气等。

气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。盘州氦气由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，氦气充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为头一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。

高纯氩气主要用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氦气氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求。一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用盘州氦气氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。