由于轻氦族气体（如氦、氖）对人体的麻醉能力很小或完全没有麻醉能力，可以用它们来代替氮配制潜水员深海作业用呼吸混合气。稀有气体氖-氧或氦-氧呼吸混合气由于有较低的密度和黏度，使压力易于释放，呼吸阻力减小，能有效地降低潜水员的体能消耗。对于工业气体氦-氧呼吸混合气，由于声速较高，声音频率改变大，存在深水通讯问题。工业气体氖也可以用于配制深水作业用的呼吸混合气。桐梓稀有气体通常，在潜水员处于深水高压环境作业时，若采用普通压缩空气供氧，不但呼吸阻力高，而且压缩空气中的工业气体氮会部分溶解在血液中，当水深在40m以下时，会产生显著的麻醉作用，在80m左右，生理机能基本丧失，人体衰竭。

气体汇流排是一种集中充气或供气的装置，它是将多只钢瓶气体通过阀门、导管联接到汇流总管，以便同时对这些钢瓶充气；桐梓稀有气体或者经减压、稳压后由管道输送到使用场所的专用设备，以保证用气器具的气源压力稳定可调，并达到不间断供气的目的。汇流排：指瓶装高压气体，通过此设备减压到一定的使用压力，是集中供气体的一种设备。汇流排由左右两根汇流主管道组成，中间有四只高压阀门，分别控制左右两组汇流管，每组有相当数量的分阀，软管及卡具连接气瓶，中间装有一块高压表，用来检测汇流管内的压力，稀有气体高压阀门上方分别有两组减压器，以便控制调节使用压力及流量，减压器上方分别有两只低压阀门，用来控制两排汇流切换时的低压气体，汇流低压主管道装有一只低压总阀门，用来控制低压管道的气体。

工业气体乙炔瓶应装设专用的回火防止器、减压器，对于工作地点不固定，移动较多的，应装在专用小车上。桐梓稀有气体严禁敲击、碰撞和施加强烈的震动，以免瓶内多孔性填料下沉而形成空洞，影响工业气体乙炔的储存。工业气体乙炔瓶应直立放置，严禁卧放使用。因为卧放使用会使瓶内的丙酮随乙炔流出，甚至会通过减压器而流入椽皮管，这是非常危险的。要用专用板手开启乙炔气瓶。开启工业气体乙炔瓶时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。稀有气体瓶内气体严禁用尽。冬天应留0.1～0.2Mpa，夏天应留有0.3Mpa的剩余压力。使用工业气体压力不得超过0.15Mpa,输气速度不应超过1.5~2立方米（m3）/时.瓶。

真空热处理是国内外正在采用的比较先进的热处理方法，在真空热处理中，往往离不开使用氮气。在高压气淬时，需要快速向真空炉中充入高于一个大气压的氮气。桐梓稀有气体在钢件真空回火时，在抽真空后需回充氮气以实现炉内保护气体循环均匀加热，以及实现回火后的快速冷却。真空热处理所需的氮气，有各种不同的来源。由于液氮的密度远比氮气大，体积远比氮气小，便于运输和贮藏，而且在大量供应时价格也较便宜。所以，稀有气体液氮是真空热处理所用氮气的重要来源之一。在国外和我国上海等地，有不少厂家就使用较大的专用储存罐，存放由液氮供应厂商专车运送来的液氮，并将由液氮逐渐汽化而成的氮气用于真空热处理。他们认为，使用液氮比使用瓶装氮气或采用制氮机制氮经济合算。