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特种气体在电子行业的应用

2021-02-16 15:20:41

电子行业常用的特气超越三十余种,按风险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。依照物理形态可分为紧缩气体、液化气体和低温气体。特种气体的应用范畴主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显现器、光纤消费四大范畴。

贵阳特种气体

其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。


在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。


在液晶显现器应用方面详细包括TFT/LCD的应用、TFT/LCD消费工艺和气体应用;在光纤应用方面详细包括光纤应用和光纤预制棒的消费工艺和气体应用。普通混合气体由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足运用请求,这种气体称为普通混合气体。


对气体剖析仪用气体,如含氢10%,其他是氦的混合气以及含甲烷5%或10%,其他是氩的混合气,被用作气相色谱仪的载气;含氢40%,其他是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。另外,含氧20%~60%,其他是氩的混合气被用来发作化学荧光剖析仪用的臭氧。


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